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新產品研發

氟氮混合氣的生產過程比較復雜,工藝技術難度大,且由于氟氣是強氧化劑,生產過程中對環境、設備、控制、安防的要求較高,氟氮混合氣生產分為氟氣提純和混合充裝兩個步驟。

氟氮混合氣應用范圍和前景極其廣闊,是原子能工業、含氟電子特氣、氟化石墨、多種氟化物、醫藥中間體等的原料。同時還是一些特殊材料表面改性的理想材料。

作為當今理想的蝕刻氣體之一且氟氣不會造成溫室效應,被應用于集成電路和各種電子元器件的生產,半導體制造工藝中CVD腔室的清洗,在半導體領域極具市場潛力。


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